本
文
摘
要
今日（3月1日）下午，2023年中国MEMS制造大会（China MEMS 2023）在苏州举行，这是目前中国MEMS行业最具影响力的大会，由国家级MEMS行业组织——中国半导体行业协会MEMS分会联合中科院纳米所、苏州纳米城等主办，本次大会已是第四届。
会上，举行了“2021中国MEMS十强企业”颁奖仪式，宣布了最新的国产MEMS企业十强名单，该名单由中国半导体行业协会根据行业季度统计报表及各地方协会统计数据评选出。
鉴于中国半导体行业协会的广泛影响力和权威性，本名单应是目前国内最权威的MEMS企业排行，某种程度上代表现在中国MEMS领域实力最强的10家头部企业。
有企业落榜，也有新锐公司进入，有
歌尔微电子股份有限公司
歌尔微电子成立于2017年，是我国MEMS传感器龙头企业歌尔股份子公司，2019年歌尔股份启动分拆工作，将MEMS相关业务全部分拆到歌尔微电子，歌尔微成为歌尔体系内唯一从事MEMS微电子相关业务的主体，并继承歌尔股份在MEMS领域的市场地位。
歌尔微电子（歌尔股份）常年位居“中国MEMS十强”企业名单榜首，据知名半导体市场咨询机构Yole Development 的《MEMS产业现状报告》显示，从2019年开始，歌尔微（歌尔股份）连续跻身全球10大MEMS厂商之列，也是前十名中唯一一家中国企业。
在MEMS声学传感器（麦克风）领域，歌尔微电子于2020年超过楼氏电子成为行业第一，市场占有率居世界同行业之首，这是楼氏电子称霸MEMS麦克风15年来首次落败。
由多家权威机构联合发布的《中国传感器发展蓝皮书》中，歌尔微（歌尔股份）被评为首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国微型麦克风代表性企业。
目前，歌尔微电子正在深交所创业板进行IPO上市，当前已过会，但仍未提交注册。
▲歌尔股份/歌尔微市场占有率排名（来自歌尔微招股书）
瑞声声学科技（深圳）有限公司
瑞声科技成立于1993年，为智能设备提供领先的微型专有技术解决方案，在声学、光学、触觉反馈、精密制造、微机电、无线射频和天线领域拥有材料研发、仿真、算法、设计、自动化以及工艺开发等尖端技术。
《中国传感器发展蓝皮书》首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国电声元器件代表性企业，全球著名的电声元器件制造商之一，2005年在香港上市。
瑞声科技是我国MEMS领域另一龙头企业，与歌尔微一样主营传感器业务都是MEMS麦克风，瑞声科技也是我国另一家进入全球MEMS厂商 TOP 30 的传感器企业。关于全球MEMS厂商排名可参看《2022年全球十大MEMS厂商排名出炉！5家中国公司杀入TOP 30！》
在微型声学、触觉、MEMS麦克风领域，瑞声科技分别被工信部认定为我国制造业单项冠军示范企业。现已成为全球领先的同行、IT及消费电子市场微型元器件整体方案供货商。
河北美泰电子科技有限公司
美泰科技是中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，中国MEMS行业协会理事长单位，专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。连续多年荣获“中国半导体MEMS十强企业”，是国内最大的MEMS核心芯片、器件和系统产品供应商，中国MEMS技术领导者。
美泰科技拥有自己的MEMS传感器芯片产线，是一家IDM企业。2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收，用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线月产能达到1万片。
《中国传感器发展蓝皮书》评为首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国MEMS传感器代表性企业，优势产品包括MEMS惯性器件与系统、MEMS传感器、汽车传感器、压力传感器、射频（RF）MEMS器件等。
美新半导体有限公司
美新半导体（MEMSIC）成立于1999年, 目前总部位于中国天津，曾于2007年在美国纳斯达克上市，被誉为全球MEMS第一股。
美新半导体（MEMSIC）是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商，也是中国最大的MEMS惯性传感器企业，《中国传感器发展蓝皮书》评为首批36家具有影响力的传感器企业之一，中国惯性传感器代表性企业。
2020年，美新获得mCube独家授权其所有惯性传感器芯片技术，全面布局电容式加速度计和陀螺仪领域，开发了基于标准CMOS流程的微机电系统和全球领先的制造工艺和测试技术，成功研发出30多种型号的加速度传感器、磁传感器等产品。
美新半导体是一家IDM企业，在无锡建有8英寸MEMS磁、惯性传感器封测产线。2022年12月，据绍兴日报消息，总投资近4亿元的美新半导体项目即将投产，将形成年产6亿颗MEMS磁传感器芯片和1.2亿颗加速度传感器的生产能力。
上海矽睿科技股份有限公司
矽睿科技成立于2012年，专注于高质量传感器产品的设计、制造、以及增值应用与服务，致力于成为以应用为导向的多传感器平台。
矽睿科技拥有完全自主知识产权，产品包括多款MEMS传感器、磁性传感器芯片、及汽车与物联网智能模组和系统。矽睿科技多年进入“中国MEMS10强”企业名单，是我国磁传感器、惯性传感器主要厂商之一，《中国传感器发展蓝皮书》评为首批36家具有影响力的传感器企业之一。
矽睿科技于2023年1月公开IPO上市辅导备案情况，拟在中国A股上市，目前尚未披露具体上市板块，相关情况可参看《7家企业密集启动上市辅导，中国传感器产业迎来史上最黄金的一年！》。
华润微集成电路有限公司
华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，是领先的半导体和智能传感器供应商，总部位于无锡，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。
华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，并投入使用。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀；整体提升了其MEMS工艺技术水平和竞争能力。
此外，南昌华润微电子MEMS传感器产业园二期，项目于2022年8月份开工，总投资4.5亿元，目前已完成整体项目的50%，预计今年（2023年）10月份竣工交付使用。
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
敏芯股份成立于2007年，是一家专业从事微电子机械系统传感器研发设计的高新技术企业，主导推动了中国MEMS产业链构建，被赞誉为产业拓荒者，2020年8月登陆上海证券交易所科创板，为中国MEMS芯片第一股。
敏芯股份的三大产品线分别为MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，被《中国传感器发展蓝皮书》评为首批36家具有影响力的传感器企业之一。
敏芯作为中国最早成立的MEMS研发公司之一，现已拥有完整的芯片设计、晶圆制造、封装与测试等全产业链的自主研发设计能力，凭借完全自主设计的MEMS芯片与ASIC芯片成功打破了国外厂商长期垄断的格局，为MEMS全产业链的国产化探索了一条完整的道路。
此为，敏芯股份是中国MEMS声学传感器芯片出货量第一的企业，在全球排第三，也是唯一进入全球前5的中国企业。
▲来源：歌尔微招股书
杭州士兰微电子股份有限公司
杭州士兰微1997年成立，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。
自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力，并建立自己的MEMS封测生产线，初步走通了系列传感器的IDM发展之路，已申请相关发明专利百余项。
目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富，有：MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。
西人马联合测控（泉州）科技有限公司
西人马联合测控成立于2017年，总部坐落于福建，总人数逾800人，其中科研人员占比超40%，拥有近500项专利，并以每年30%的速度快速递增。
西人马采用IDM经营模式，目前生产落地于福建6英寸FAB厂，拥有先进的MEMS / IC等硅基芯片以及非硅基芯片的设计、制造、封测能力，已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。
2022年11月消息，西人马将在上海投资36.5亿元，新建一条8英寸MEMS芯片生产线和第三代化合物半导体外延及芯片生产线。
苏州纳芯微电子股份有限公司
纳芯微电子成立于2013年，是高性能高可靠性模拟芯片的研发设计企业，专注于围绕各个应用场景进行产品开发，由传感器信号调理ASIC芯片出发，向前后端拓展了集成式传感器芯片、隔离与接口芯片、驱动与采样芯片，形成了信号感知、系统互联与功率驱动的产品布局。
纳芯微电子是一家非常年轻但成长快速的国产传感器芯片企业，2022年4月纳芯微成功在上交所科创板上市，创下中国传感器&半导体产业史上最贵IPO首发价的股票记录，相关情况参看《中国传感器史上最贵IPO诞生！》。
纳芯微被EET电子工程专辑（中国）评为中国传感器公司TOP10之一。未来，纳芯微将开辟磁传感器赛道，已量产包括磁电流传感器、磁位置传感器等磁传感器，并与大陆集团等合作，促进乘用车关键零部件轮速传感器本土化生产。
结语
因疫情原因，第四届中国MEMS制造大会姗姗来迟。
在本届大会发布的2021年“中国MEMS十强企业”名单，含金量十足。与2020年MEMS十强名单相比，主要企业变化不大，歌尔微电子、瑞声科技仍牢牢占据TOP 2 宝座，前十中只有明皜传感落榜，取而代之的是士兰微。
其中，MEMS芯片IDM企业占据榜单的半数，美泰科技、美新半导体、华润微、士兰微、西人马均是IDM企业，拥有自己的MEMS芯片产线。
值得一提的是，多家MEMS传感器企业都比较“年轻”，除歌尔微比较特殊外，矽睿、西人马、纳芯微分别成立于2012、2017、2013，短短几年已成长为行业主要公司，可见中国MEMS产业的蓬勃发展势头。
虽然中国MEMS产业方兴未艾，但各细分领域头部企业的领导地位已经逐渐建立，留给新兴MEMS企业的时间机遇并不多了，这几年将是建立中国MEMS产业格局的关键时期。
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