本
文
摘
要
随着微型计算机多媒体技术的发展和普及,光学薄膜在液晶显示屏,CRT显示器等方面广泛应用。为了提高光学薄膜的生产效率和改善产品质量有必要逐步导入人工智能镀膜新技术。
这里所指的人工智能镀膜的含意,就是指在没有镀膜专家的情况下,也能按照指定的光学特性,实现自动镀膜。一般来说,这样的系统包括以下的几部分。(1)针对镀膜机系统,建立镀膜条件及薄膜的光学常数的数据库;(2)薄膜的设计及合成;(3)镀膜的仿真,考虑薄膜的折射率及膜厚的影响;(4)求出镀膜条及膜厚控制的数据;(5)实际镀膜,测出各层的膜厚及折射,再做设计;(6)产品的性能测试。
为了满足市场需要，航鑫光电研制了新款膜厚测量仪FilmThick-C100。该系统利用光干涉原理，机械结构集成的进口卤钨灯光源，使用寿命超过20000小时，紧凑设计保证了测量的高度准确性和可重复性。通过内嵌式微处理器控制，小型光谱仪，光谱范围200nm–2500nm（波长范围根据配置选择），分辨精度可达3648像素，16位级A/D分辨精度。配有USB通讯接口。
众所周知，CCD传感器式光谱仪不宜采用调制光源,因为CCD传感器只宜用于直流光源或者缓变的交流光源。在实际的镀膜过程中,蒸镀槽内的电子枪及离子枪发出的杂光,会影响到试样的光量变化,使膜厚仪的控制精度低下。
为此,我们在光源的出射口处设置了内嵌式微处理器。该内嵌式微处理器由步进电机驱动,其转速受微处理器控制,微处理器的频率最高10Hz。因此,光源被调制成缓慢的明暗交替的光。在它的暗周期,膜厚仪测到的是蒸镀槽内的杂光加上CCD传感器的暗电流。在它的明周期,除此两项之外,膜厚仪测到光量信号。我们只要做一些运算就能算出纯光量信号,而除去杂光等影响。另外,由于传感器的暗电流得到补偿,放大器的温漂特性亦会改善。
航鑫光电FilmThic膜厚测量仪对样品进行非接触式、无损、高精度测量，可测量反射率、颜色、膜厚等参数。可应用于光伏、半导体材料、高分子材料等薄膜层的厚度测量，在半导体、太阳能、液晶面板和光学行业以及科研所和高校都得到广泛的应用。
OpticaFilmTest光学膜厚测量软件采用FFT傅里叶法、极值法、拟合法多种高精度算法，包含了类型丰富的材料折射率数据库，开放式材料数据库，有效地协助用户进行测试分析，测量期间能实时显示干涉、FFT波谱和膜厚等趋势。
