本
文
摘
要
佰力博电阻率测量系统是专业用于材料的电阻性能测量的科研仪器，可以用于分析高温、真空、气氛条件下被测样品的电阻、电阻率、方块电阻、体积电阻、表面电阻等，同时还可以分析被测样品随温度、时间变化的曲线。
测量导体电阻率
测量导体电阻率的方法是通过一对引线强制电流流过样品，用另一对引线测量其电压降来决定已知几何尺寸的样品的电阻。虽然，测量电阻率使用的具体方法决定于样品的大小和形状。但是所有的方法都需要使用灵敏的电压表和电流源或微欧姆计来进行测量，因为要测量的电阻一般都非常小。
测量导体电阻率的方法是通过一对引线强制电流流过样品，用另一对引线测量其电压降来决定已知几何尺寸的样品的电阻。虽然，测量电阻率使用的具体方法决定于样品的大小和形状。但是所有的方法都需要使用灵敏的电压表和电流源或微欧姆计来进行测量，因为要测量的电阻一般都非常小。
佰力博RMS系列电阻率测量系统整块材料的电阻率
1.传统认为，科学是人类所积累的关于自然、社会、思维的知识体系。
2.我们所说的“科学”指研究自然现象及其规律的自然科学；技术泛指根据自然科学原理生产实践经验，为某一实际目的而协同组成的各种工具、设备、技术和工艺体系，但不包括与社会科学相应的技术内容。
图4-46示出测试整块材料，如金属棒或金属条电阻率的系统。将电流源连到样品的两端。电压表的引线则按已知的距离放置。根据样品的横截面积和电压表引线之间的距离计算出电阻率：
计算公式其中：ρ= 以厘米-欧姆为单位的电阻率
V = 电压表测量的电压
I = 电流源电流
A = 以厘米2为单位的样品的横截面积（w × t）
L = 以厘米为单位的电压表引线之间的距离
示意图为了补偿热电动势的影响，在正向测试电流之下得到一个电压读数，再在负向测试电流之下得到另一个电压读数。将这两个电压读数的绝对值进行平均，并将其用在公式的VI中。大多数材料都具有很大的温度系数，所以一定要将样品保持在已知的温度之下。
使用四探针法
四探针法用在非常薄的样品，例如外延晶圆片和导电涂层上。图4-47是四点同线探针用于电阻率测量的配置图。电流从两个外部的探针加入，而电压降则在两个内部的探针之间测量。表面电阻率的计算公式为：
表面电阻率计算公式其中： σ = 以欧姆/□为单位的表面电阻率
V = 电压表测得的电压
I = 电流源电流
注意，表面电阻率的单位表达为欧姆/□，以区别于测量出的电阻（V/I）。对于极薄或极厚的样品，可能需要使用修正因数对电阻率的计算进行修正。
示意图佰力博RMS-1000C系列导电材料电阻率测量系统主要是用于导电材料导电性能的评估和测试，该系统采用四线电阻法测量原理进行设计开发，可以在高温、真空气氛的条件下测量导电材料电阻和电阻率，可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。目前主要针对圆片、方块、长条等测试样品进行测试，可以广泛用于碳系导电材料、金属系导电材料、金属氧化物系导电材料、结构型高分子导电材料、复合型导电材料等材料的电阻率测量。
电阻率测量系统